CAF-100 Series Digital Mass Flow Controller

이중밸브 구조로 컴팩트한 사이즈로 대유량 제어 가능하며 저압에서 대유량 제어가 가능, 직동식이기 때문에 응답속도가 빠르고, 필터 장착없이 클린 공정에 적용 가능. 또한 피스톤 및 다이아프램 방식에 비하여 내구성이 뛰어남

유량범위(N2 기준) : 100 ~ 3,000 slm(카다로그의 모델에 따른 유량 참조)
입출력 신호 : 아날로그 모드 0~5VDC or 4~20mA
디지털모드 : RS485(D-NET가능)